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氮化物靶材

2020-06-12 13:45
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蒂姆（北京）新材料科技有限公司可提供多種成分、多種尺寸、多種工藝金屬氧化物靶材。
常用參數：
靶材純度：99.9%、99.95%、99.99%
制備工藝：熱等靜壓、常溫燒結等
靶材形態：平面靶、多弧靶、臺階靶、異形靶
圓靶尺寸：φ25.4*3mm、φ50*3mm、φ50.8*4mm、φ60*3mm、φ76.2*3mm、φ80*4mm、φ101.6*5mm、φ152.4*6mm 尺寸可定制
方靶尺寸：50*50*3mm、100*100*4mm、300*300*5mm 尺寸可定制
綁定服務：陶瓷靶材亦可提供銅背靶銦焊綁定服務，提高陶瓷靶材導電導熱性，提高使用效率
包裝方式：真空包裝




化學式品名純度（%）致密度適用設備
氮化硼BN2N5＞80%磁控濺射設備
氮化鋁AlN2N5＞80%磁控濺射設備
氮化硅Si3N42N5＞80%磁控濺射設備
氮化鈦TiN2N5＞80%磁控濺射設備
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